CYS-E電子級(jí)光譜濃度儀

產(chǎn)品概述：

CYS-E電子級(jí)光譜濃度儀系列產(chǎn)品采用分體式設(shè)計(jì)，主要由濃度傳感器和多功能主機(jī)組成，采用光譜連續(xù)掃描方式，通過傳感器采集介質(zhì)的光譜圖像，多功能主機(jī)內(nèi)置建模、分析、顯示和信號(hào)輸出等功能，適用于泛半導(dǎo)體行業(yè)濕電子化學(xué)品的濃度檢測(cè)。

傳感器采用超純PFA/PTFE流通池結(jié)構(gòu)結(jié)合大面積藍(lán)寶石光學(xué)棱鏡，通過長(zhǎng)期技術(shù)積累和攻關(guān)研發(fā)，解決了半導(dǎo)體行業(yè)濕電子化學(xué)品濃度在線測(cè)控類產(chǎn)品的“卡脖子”問題。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

高精度，SEMI G5級(jí)，耐高溫，長(zhǎng)壽命光源，光強(qiáng)自動(dòng)調(diào)節(jié)。

應(yīng)用領(lǐng)域：

氧化工藝：硫酸/雙氧水、氫氟酸、氫氧化銨/雙氧水/水、異丙醇等濃度分析；

蝕刻工藝：氫氟酸/甲氧基甲醇、氫氟酸、硝酸、硫酸、氟化銨、鹽酸、乙酸、磷酸等濃度分析；

剝離工藝：抗蝕劑剝離液、聚合物去除化學(xué)溶液、低濃度氫氟酸/稀硫酸/過氧化氫、低濃度氫氟酸/鹽酸/氨水等濃度分析；

鍍銅及平整化工藝：低濃度硫酸、雙氧水，低濃度氫氟酸中的溶解氧、稀硫酸/過氧化氫、鹽酸/氨水等濃度分析。